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英和検索結果
micro-electrical-mechanical system
シソーラス
PubMed
,
Scholar
,
Google
,
WikiPedia
(半導体加工技術を応用して極小サイズの電子機械システムを作り出す最先端技術)
微小電気機械システム
【類義語】
MEMS
, micro-electric-mechanical system